원리 및 특징

집속이온빔 조사 장치로 나노단위의 시료를 가공하여 FESEM 및 EDS 분석이 가능한 장비. 영역분할 BSE detector와 대물렌즈 내/외부의 SE detector(4개)를 활용하여 자성시료 등 소재 특성에 최적화된 관찰 모드 제공.
시료 부착 및 보호막 증착을 위한 GIS(gas injection system:Pt, C)과 나노크기 시료 이동 조작을 위한 lift-out system, 가공 중 시료 냉각을 위한 Cryo stage(LN2)와 자동화 기능을 활용한 3D tomography 가능

활용분야

• 미세영역의 단면 가공 후 직접 관찰 및 EDS 분석
• TEM 시료 제작(<100nm)
• 나노분말 단면 연마 및 구조 관찰
• 다층 폴리머 단면 연마 및 구조 관찰

사용수가