스킵네비게이션

분석실 안내 DONG-A UNIVERSITY

구조분석실

주사탐침현미경
AFM (Atomic Force Microscope)


모델명 Innova
제작사 Bruker
설치장소 동아대학교 공대2호관(S04) 0101호
문의전화 051)200-6371
기기담당자 손광석

원리 및 특징

나노크기의 탐침과 시료표면의 원자 사이에 작용하는 힘(atomic force)에 의한 cantilever의 미세한 휨을 레이저로 측정하여 시료의 3차원 구조를 Å 단위까지 관찰하고 정량적 해석이 가능하고(AFM) 탐침과 시료표면 사이에 전류값의 변화를 측정하여 시료 표면이 전기 전도도 분포도 알 수 있다(C-AFM)

활용분야

  • 공학렌즈나 증착막의 두께 및 굴곡도 측정, 천연 광석의 표면분석
  • 반도체의 표면계측, detect 분석, 콤펙트,
    광자기 디스크 등의 네트 모양 세부조사, FPD의 제조공정분석
  • Nanolithography, Nanomaching

사용수가

분석항목 교내 교외 비고
AFM 20,000/h 30,000/ea 40,000/h  60,000/ea 직접 이용 시,탐침 준비

C-AFM

  40,000/ea 80,000ea